所屬分類：等離子去膠機(jī)
處理過程溫度低，能在高氣壓下維持等離子體
ST-3300是一種批量晶圓筒式微波去膠設(shè)備，應(yīng)用光刻膠去除-大劑量離子注入后,干法刻蝕之后,濕化學(xué)處理之后,犧牲層的去除,SU-8光刻膠的去除等,自由運動的電子產(chǎn)生Plasma進(jìn)入腔體所在的石英舟內(nèi)的晶圓表面的光刻膠進(jìn)行工藝清洗。通過對真空腔體壁上的施加頻率為2.45 GHz的微波可以產(chǎn)生大量的持續(xù)Plasma。腔體適用于4-8寸的晶圓石英舟。
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