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全自動雙腔半導(dǎo)體快速退火爐RTP
<p><span style="text-indent: 30px; text-wrap: wrap;">RTP-DTS-8全自動雙腔快速退火爐是在保護(hù)氣氛下的全自動立式快速退火系統(tǒng)，以紅外可見光加熱單片 Wafer或樣品，工藝時(shí)間短，控溫精度高，適用6寸8寸片快速熱退火制程。</span></p>
桌面型快速退火爐RTP,快速熱處理退火爐
<p><span style="text-indent: 30px; text-wrap: wrap;">RTP-Table-6桌面型快速退火爐是在保護(hù)氣氛下的桌面快速退火系統(tǒng)，以紅外鹵素?zé)艄芗訜?，精?zhǔn)控制升溫，保證良好的重現(xiàn)性與溫度均勻性，適用6寸快速退火制程。</span></p>
半自動半導(dǎo)體快速退火爐RTP
<p><span style="font-family: ">RTP-SA-12半自動快速退火爐是在保護(hù)氣下的半自動立式快速退火系統(tǒng)，以紅外可見光加熱單片 Wafer 或樣品，工藝時(shí)間短，控溫精度高，適用 4-12 英寸片。</span></p>
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